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萊寶真空泵|Leybold
萊寶離子泵-small/Low Profile/Tall Profile系列
優(yōu)勢速覽:
萊寶離子泵
離子泵工作原理
創(chuàng)造強礎(chǔ)場區(qū)域
永磁鐵置于泵體真空腔之外,產(chǎn)生強磁場,用來控制和引導(dǎo)電子在陽極筒內(nèi)環(huán)形運動
第二步
產(chǎn)生電子云
泵體真空預(yù)抽后,施加高電壓,電子在陽極簡產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)電子云,并被強磁場所約束
第三步
當(dāng)氣體分子進入陽極筒單元,被電子轟擊,離化為正離子,正離子經(jīng)高壓電場加速后高速飛出陽極筒飛向陰極板
第四步
氣體離子吸附抽除
當(dāng)氣體陽離子達(dá)到陰極板,高速動能產(chǎn)生的濺射作用,陰極材料被轟擊出飛向陽極筒,同時氣體離子通過下述兩種吸附作用之一被抽除:物理吸附、化學(xué)吸附
技術(shù)參數(shù):
TiTan"
萊寶離子泵優(yōu)勢
長使用壽命
設(shè)計使用壽命均可達(dá)45,000-50,000小時。隨著工作壓強的降低,使用壽命將會線性增加舉例而言,若始終工IE-9mabr的UHV環(huán)境下,離子泵可以連續(xù)運行數(shù)十年。
高真空
所有離子泵在出廠時內(nèi)部真空度低于1E-10bar,檢漏數(shù)據(jù)和RGA掃描分析報告等生產(chǎn)和質(zhì)量數(shù)據(jù)可追溯。
線纜
SAFECONN系列電纜具有高壓安全鎖功能,規(guī)避觸電等安全風(fēng)險,耐高溫耐輻射、易彎折方便安裝
高壓端子
10kvsHv( SAFECONN)高壓端子是萊寶離子泵標(biāo)準(zhǔn)配置,具有安全、易于連接等特點。
所有離子泵均可選配集成110V或220V加熱器,配鐵磁體的小型離子泵也可以安裝加熱器。帶磁鐵可以進行250°C烘烤,不帶超鐵可以進行450°C烘烤。
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